微位移納米平臺具有以下特點：納米級或亞納米級位置精度，體積小重量輕，推力大（>10000N），響應(yīng)極快，慣量小，加速度可達20G，自動鎖定，無伺服抖動現(xiàn)象。電機沒有移動部件，運動時無背隙、無摩擦、無磨損和消耗，超低耗電。它沒有磁性且不產(chǎn)生磁輻射，也不受外部磁場干擾，可用于真空和無塵室以及潮濕、干擾大、振動大等惡劣環(huán)境，并可超高溫和超低溫工作，使用壽命長。 典型應(yīng)用領(lǐng)域： 生物生命科學、藥物醫(yī)學、光學、光電、光纖、測量測試、半導(dǎo)體、微電子、高精密機械和機床、數(shù)據(jù)存儲等。 具體應(yīng)用設(shè)備： 光電顯微鏡，自動聚焦，顯微定位，微米納米計量尺，LCD等顯示平板的生產(chǎn)測試檢查，晶片檢查定位，消除振動系統(tǒng)，大容量數(shù)據(jù)磁盤，微型產(chǎn)品的生產(chǎn)加工裝配測試，天文觀測儀器，自適應(yīng)光學系統(tǒng)，光纖排列，微型掃描儀，基因處理，顯微操作分配，細胞穿透，微型手術(shù)，激光調(diào)整，光學鏡面調(diào)整，圖像穩(wěn)定，磨損修正，微型閥/泵，微雕刻。