超聲波壓電陶瓷電機(jī)平臺(tái)具有以下特點(diǎn)：納米級(jí)或亞納米級(jí)位置精度，體積小重量輕，推力大（>10000N），響應(yīng)極快，慣量小，加速度可達(dá)20G，自動(dòng)鎖定，無(wú)伺服抖動(dòng)現(xiàn)象。電機(jī)沒有移動(dòng)部件，運(yùn)動(dòng)時(shí)無(wú)背隙、無(wú)摩擦、無(wú)磨損和消耗，超低耗電。它沒有磁性且不產(chǎn)生磁輻射，也不受外部磁場(chǎng)干擾，可用于真空和無(wú)塵室以及潮濕、干擾大、振動(dòng)大等惡劣環(huán)境，并可超高溫和超低溫工作，使用壽命長(zhǎng)。 典型應(yīng)用領(lǐng)域： 生物生命科學(xué)、藥物醫(yī)學(xué)、光學(xué)、光電、光纖、測(cè)量測(cè)試、半導(dǎo)體、微電子、高精密機(jī)械和機(jī)床、數(shù)據(jù)存儲(chǔ)等。 具體應(yīng)用設(shè)備： 光電顯微鏡，自動(dòng)聚焦，顯微定位，微米納米計(jì)量尺，LCD等顯示平板的生產(chǎn)測(cè)試檢查，晶片檢查定位，消除振動(dòng)系統(tǒng)，大容量數(shù)據(jù)磁盤，微型產(chǎn)品的生產(chǎn)加工裝配測(cè)試，天文觀測(cè)儀器，自適應(yīng)光學(xué)系統(tǒng)，光纖排列，微型掃描儀，基因處理，顯微操作分配，細(xì)胞穿透，微型手術(shù)，激光調(diào)整，光學(xué)鏡面調(diào)整，圖像穩(wěn)定，磨損修正，微型閥/泵，微雕刻。