結(jié)構(gòu)特點

由無齒槽直驅(qū)力矩電機、閉式氣浮軸承和圓光柵反饋組成，最大限度地提高定位性能。閉式氣浮結(jié)構(gòu)設(shè)計使工作臺面降到最低，減小系統(tǒng)誤差影響。具有高軸向剛度和大承載能力。解決氣浮抱死的問題，力矩電機固有的零齒槽效應(yīng)和扭矩波紋折射，適合在各種速度下平滑轉(zhuǎn)動。

精度性能

瑞邦精控的QFR系列氣浮轉(zhuǎn)臺同步軸向跳動誤差和徑向跳動誤差10nm，擺角誤差3μrad，最大負(fù)載100kg，電動控制和手動轉(zhuǎn)動跳動誤差一致，使用壽命10年以上。

閉環(huán)反饋

使用圓光柵閉環(huán)反饋，分辨率優(yōu)于0.01arc sec，同時采用高性能控制系統(tǒng)，優(yōu)化氣浮結(jié)構(gòu)，氣浮轉(zhuǎn)臺能精準(zhǔn)回零。

定制化

氣浮轉(zhuǎn)臺可安裝滑環(huán)，用于空間模擬裝置，MEMS和慣性導(dǎo)航等應(yīng)用。