超高潔凈全氟醚 O 型圈_蘇州賽途_TOC<1ppm 半導體密封件廠家
企業(yè)信息
產品詳情
產品名稱:超低析出 / 潔凈型全氟醚 O 型圈(半導體 / 制藥級)
改性體系:高純 FFKM + 無灰白炭黑 + 潔凈硫化體系
潔凈指標:
TOC:<1ppm(總有機析出)
金屬離子:Na/Fe/K/Ca 等<ppb 級
耐等離子體:刻蝕速率 **<0.1μm/h**
真空漏率:≤1×10?? Pa·m3/s
核心優(yōu)勢:
零污染:無析出、無揮發(fā)、不污染介質 / 產品
耐等離子體:半導體蝕刻 / CVD / 刻蝕機穩(wěn)定
耐高溫:327℃長期,熱穩(wěn)定性極佳
耐強蝕:耐氫氟酸、硝酸、堿、氧化劑
合規(guī)認證:FDA、ISO 10993、SEMI F47、RoHS
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