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時(shí)間：2017-11-15 13:28:15來(lái)源：網(wǎng)絡(luò)轉(zhuǎn)載
行程：690×1,550mm
尺寸：1,600×1,660mm
定位時(shí)間：400msec
最高速度：500mm/sec
真直度（垂直/水平）
X軸：±1.2μm、±1.13μm
Y軸：±2μm、±0.63μm
速度穩(wěn)定性：±0.1%（35mm/sec時(shí)）
采樣周波數(shù)：100Hz
標(biāo)簽：
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