該運動解決方案的主要特點

　　配備光功率計、控制器和對準(zhǔn)算法的可擴展龍門，用于大面積光子元件測試和裝配應(yīng)用

　　高度可重復(fù)的運動路徑

　　高分辨率線性編碼器

　　高光功率計帶寬和分辨率，可實現(xiàn)快速響應(yīng)

　　使用先進(jìn)的對準(zhǔn)算法提高了吞吐量

　　1、XY軸步進(jìn)和掃描

　　·無鐵芯線性電機，可實現(xiàn)高動態(tài)、精密且平穩(wěn)的運動，完成快速步進(jìn)和掃描

　　·絕對編碼器可避免參考并確保操作安全?

　　·XY拖鏈電纜管理可保持電纜完整性并延長使用壽命

　　2、Z軸垂直運動

　　·高精度滾珠絲杠線性平臺，配有步進(jìn)電機和制動閘，運行可靠

　　·折疊式動力傳動系統(tǒng)和緊湊型設(shè)計，可減少安裝空間

　　·輕量化設(shè)計，可保持龍門動態(tài)性

　　·價格經(jīng)濟(jì)，交付時間短

　　3、Z軸距離控制

　　·音圈直接驅(qū)動電機，可實現(xiàn)無摩擦運行、高掃描頻率與快速步進(jìn)和穩(wěn)定

　　·高分辨率線性編碼器，可實現(xiàn)準(zhǔn)確的位置反饋

　　·可調(diào)節(jié)的重力補償，確保安全運行

　　·靈活的安裝選配件，易于集成

　　4、靈活的自動化

　　·EtherCAT提供開放式網(wǎng)絡(luò)連接

　　·將傳感器輸出轉(zhuǎn)換為位置數(shù)據(jù)，可實現(xiàn)快速輸出

　　·廣泛的運動控制器算法，可實現(xiàn)快速運動和穩(wěn)定

　　·自動聚焦功能可實現(xiàn)動態(tài)聚焦調(diào)整?