PI-用于晶圓切片的高精度激光加工
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PI-用于晶圓切片的高精度激光加工
所屬企業(yè)：普愛納米位移技術(shù)（上海）有限公司視頻類型：產(chǎn)品視頻
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直接驅(qū)動(dòng)帶有空氣軸承的線性和旋轉(zhuǎn)平臺(tái)，可實(shí)現(xiàn)極限精度;高直線度、平面度和重復(fù)精度;消除齒槽效應(yīng)，實(shí)現(xiàn)平穩(wěn)的速度控制;拖鏈電纜管理;在晶圓工作點(diǎn)提供計(jì)量;全天候以高占空比運(yùn)行;絕對編碼器消除了參考，同時(shí)提高了運(yùn)行期間的效率和安全性。
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