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NanoPWM驅動器代替線性驅動器
產(chǎn)品型號NanoPWM驅動器
廠商性質 生產(chǎn)商
公司名稱ACS Motion Control
地 址Room 301, No.798, Zhaojiabang Rd Shanghai
企業(yè)信息
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產(chǎn)品介紹
對比現(xiàn)有已商業(yè)化的線性驅動器，ACS的NanoPWM?驅動器有以下特點：
更高的工作電壓及工作電流
更小尺寸
更好價格
對于如450mm和300mm晶圓檢測設備，以及其它對高速，高加速，平滑速度和亞納米級靜止抖動有要求的應用場合，這是優(yōu)異的驅動方案
應用SPiiPlus控制器和NanoPWM?驅動器來驅動一臺XY平臺，可以實現(xiàn)速度大于1米/秒，靜止抖動小于±0.3納米，在100毫米每秒速度下跟隨誤差為±10nm
(紅色)對比線性驅動器(黃色)靜止抖動
MC4U控制模塊集成NanoPWMTM驅動器
MC4UNT控制模塊
MC4UDC控制模塊
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