隨著器件架構(gòu)日趨復雜、耦合公差不斷縮小,光子集成電路(PIC)不斷創(chuàng)新,對對準精度的要求也愈發(fā)嚴苛。在研發(fā)環(huán)境中,測量保真度與工程進度取決于快速、可重復的多軸對準能力,而傳統(tǒng)機械平臺在納米尺度下往往難以持續(xù)滿足這類需求。PI的NanoCube憑借6自由度壓電陶瓷運動、納米級精度與良好的動態(tài)性能,克服了上述限制,可滿足新一代PIC測試與探測的需求。NanoCube采用緊湊的并聯(lián)運動技術(shù)方案、柔性鉸鏈導向裝置以及成熟的PICMA促動器技術(shù),為臺式實驗、高級表征工作流程以及自動化光子探測系統(tǒng)樹立了高精度對準新高度。
主要特點
l 緊湊型集成式6自由度對準平臺
l 納米級精度
l 亞秒級耦合峰值檢測
l 基于人工智能的高速搜索算法
主要技術(shù)亮點
l 緊湊型6軸(6自由度)平臺:小巧玲瓏,可置于掌心,適用于臺式實驗與空間有限的研發(fā)工作站;
l 納米級分辨率的精密運動:500μm線性行程(X、Y、Z),3°旋轉(zhuǎn)(θX、θY、θZ);
l 并聯(lián)運動柔性鉸鏈導向裝置與成熟的PICMA壓電陶瓷促動器技術(shù),具有良好的動態(tài)性能,為復雜、敏感的PIC樣品提供可靠保障;
l 用戶可編程虛擬樞軸點,可實現(xiàn)靈活的多軸對準——即使在要求嚴苛的PIC架構(gòu)中也能勝任。
P-616.65S NanoCube六軸壓電陶瓷系統(tǒng)
產(chǎn)品描述
l PICMA壓電陶瓷促動器帶來長使用壽命
獲得專利的PICMA壓電陶瓷促動器為全瓷絕緣。這可以防潮,避免漏電流增大造成故障。PICMA促動器的使用壽命是傳統(tǒng)聚合物絕緣促動器的十倍。它們被證明可實現(xiàn)無故障運行10億個循環(huán)。
l 零間隙柔性鉸鏈導向帶來高導向精度
柔性鉸鏈導向無需維護、無摩擦、無磨損,無需潤滑。 其剛性可實現(xiàn)高負載能力,且它們對沖擊和振動不敏感。其可在較寬的溫度范圍內(nèi)工作。
l 并聯(lián)運動實現(xiàn)高動態(tài)多軸操作
在并聯(lián)多軸系統(tǒng)中,所有促動器作用于同一個運動平臺。所有軸均具有最小的質(zhì)量慣性并采用相同的設(shè)計,可實現(xiàn)快速、動態(tài)且精密的運動。
l 可自由選擇的旋轉(zhuǎn)中心,易于操作
軟件大大簡化了這一操作:可將空間中的任意點設(shè)為旋轉(zhuǎn)中心,平臺圍繞該中心進行旋轉(zhuǎn)與傾斜。旋轉(zhuǎn)中心可自由定義、輕松調(diào)控,并能穩(wěn)固錨定于空間某點,或在發(fā)生線性位移時跟隨平臺移動,隨心操作由您掌控!
P-616.65S,尺寸單位為mm。請注意,在圖中使用逗號代表小數(shù)點。
應(yīng)用領(lǐng)域
光子學/集成光學、精密光纖定位和對準、光纖到光纖耦合、光纖到芯片耦合、光纖到組件耦合、光纖陣列對準
產(chǎn)品規(guī)格



各個坐標(X、Y、Z、θX、θY、θZ)的最大行程范圍是相互依存的。 當所有其他軸都處于標稱行程范圍的零位置并且使用默認坐標系時,或者更確切地說,當旋轉(zhuǎn)中心點設(shè)置為0,0,0時,每個軸的數(shù)據(jù)顯示其最大行程范圍。
因為PI壓電陶瓷納米定位系統(tǒng)無摩擦,所以系統(tǒng)分辨率僅受放大器噪聲和測量技術(shù)的限制。
PI技術(shù)數(shù)據(jù)是在22±3°C環(huán)境溫度下定義的。除非有特別說明,所有數(shù)值均基于無負載的情況。某些性能參數(shù)是相互關(guān)聯(lián)的。“typ.”標識 是指屬性的統(tǒng)計平均值,并非承諾每個交付產(chǎn)品均達到該數(shù)值。在產(chǎn)品交付前的最后檢驗中,我們只檢測選定的屬性,而不是全部屬性。請注意,產(chǎn)品的某些特性可能會隨著使用時間的增長而逐漸下降。
智能固件,加速對準
l 集成了PI的E-713控制器,可實現(xiàn)準確的同步運動控制
l 內(nèi)置高速例程,可自動執(zhí)行首道光檢測、梯度搜索與多軸優(yōu)化
l 全程在固件中運行,無需外部腳本或PC端處理
l 縮短對準周期,提高研發(fā)與生產(chǎn)效率
E-713 NanoCube? 運動控制器,用于P-616 6D NanoCube
主要特點
l 用于運行P-616 6D NanoCube
l 適合硅光子應(yīng)用
l 集成用于光纖對準的掃描程序
l 高分辨率模擬輸入,用于檢測光信號
l 綜合軟件包
產(chǎn)品描述
l 協(xié)調(diào)運動
配合壓電陶瓷促動器和應(yīng)變片傳感器,用于控制6軸并聯(lián)運動。尤其適用于P-616 6D NanoCube等系統(tǒng)。位置以直角坐標輸入,控制器據(jù)此計算并聯(lián)機構(gòu)的控制。 旋轉(zhuǎn)中心可在空間中自由定義;
l 快速多通道光子學對準
控制器通過采用集成算法以及高分辨率、快速的模擬輸入,支持PI的快速多通道光子學對準(FMPA)技術(shù)。FMPA可對光子器件在輸入端、輸出端及各自由度上的對準進行并行優(yōu)化;
l 廣泛軟件支持
PI用戶軟件便于快速啟動,無需編程技能,并可圖形化顯示信號和操作過程,例如FMPA例程。此外,還提供豐富的驅(qū)動程序,例如用于C、C++、C#、Python、NI LabVIEW或MATLAB;
l 供貨范圍
發(fā)貨范圍包括控制器和軟件包。建議將并聯(lián)機構(gòu)和控制器一并訂購,以便零部件可以相互適配。
l 應(yīng)用領(lǐng)域
光學組件對準、自動晶圓測試、硅光子裝配技術(shù)。
E-713運動控制器:外殼尺寸單位為mm。 請注意,在圖中使用逗號代表小數(shù)點。
產(chǎn)品規(guī)格






指定的輸出通道為放大器通道。
指定的輸入通道為傳感器通道。
最大輸出功率受機箱電源和可用通道數(shù)量的限制。
對于應(yīng)變片傳感器:
-傳感器分辨率,1σ,在300Hz下:1:20000
-參考信號,每通道:5V,最大15mA
























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